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微纳米级精密定位工作台
一维集成式工作台通过柔性铰链机构对压电陶瓷进行直接或放大驱动以实现无间隙无耦合的微位移传动,具有沿X轴方向的一维运动,行程从10m至200m。 该系列微动台可集成电阻应
2018-11-19
MPT-1D系列(一维直驱式工作台)
主要参数(nm)MPT-1DN/RL010MPT-1DN/RL025MPT-1DN/RL050运动自由度XXX行程范围(μm±10%)102550位移分辨率(nm)12.55重复定位精度(nm)-/10-/25-/50运动方向推力(N)1000100010
2018-11-19